半導体(前工程) 半導体・製造装置 アニール炉・キュア炉 高真空オーブン メーカー大亜真空 型式 年式2007 外寸W1000D1000H2000mm 展示場塩山テクニカルセンター 価格2,277,000円(税込) ASK管理No.EE94B5 在庫確認・お問合せ 機械仕様加熱温度150℃MAX 槽内寸法:800x800x800mm 入力:3φ200V 到達圧力:-50Pa ロータリーポンプ+ターボモレキュラーポンプ仕様 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します