蒸着装置（EB)

メーカー昭和真空

型式SGC-22SAC

年式1998

外寸

展示場都留テクニカルセンター

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ASK管理No.F31292

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機械仕様チャンバーΦ850×H1310 電子銃10Kw
ディフュージョンポンプOH済み

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