イオンミリング装置　NG

メーカー日立

型式IML-2-1

年式1996

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格6,325,000円(税込)

ASK管理No.F42673

在庫確認・お問合せ

機械仕様基板サイズ:2インチ 排気:クライオポンプ+RP
電源:イオンビーム 最大加速電圧1.0KV
最大減速圧力-0.5KV
最大イオン電流密度1.0mA/c㎡

添付ファイル

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