ドライエッチング装置（高密度）

メーカーアネルバ

型式L-310R-E

年式1999

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.F42708

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機械仕様ECRソースタイプ
資料サイズ100mm(不定形)バッチ式
エッチング性能80mm/min以上
精度Φ80mm内で5%(Sio2の場合)

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