ウエハ抵抗形状測定機

メーカーLEOコベルコ科研

型式RPW-1000M

年式2004

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格3,850,000円(税込)

ASK管理No.F50338

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機械仕様対象ウェーハ SiC単結晶ウェーハ
直径Φ100㎜/Φ125㎜/Φ150㎜
厚み200~300μm
計測位置:厚さ/形状測定(レシピによる設定)

添付ファイル

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