メーカーLEOコベルコ科研

型式LTA-1800

年式2003

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格990,000円(税込)

ASK管理No.F50340

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機械仕様1インチ(25㎜)Φmin~200㎜? Maxまで
評価領域 低温ポリシリコン SiC 専用
厚さ:300~1000μ 比抵抗:0.02~10Ω/cm
ウェーハ搬送 手動 対象品3C-Sic

添付ファイル 動作チェックシート