メーカーLEOコベルコ科研

型式LTA-1800

年式2003

外寸W800 D1100 H1300

展示場都留テクニカルセンター

価格1,089,000円(税込)

ASK管理No.F50340

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機械仕様1インチ(2mm)φmin〜200mm□ maxまで
評価領域:低温ポリシリコン SiC 専用
厚さ:300〜1000μm 比抵抗:0.02〜10Ω/cm
ウェーハ搬送:手動 対象品:3C-Sic
入力電源:単相AC100V 50/60Hz 5A 重量:280㎏

添付ファイル 動作チェックシート