メーカー日立

型式IMR-3-1

年式1992

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格4,180,000円(税込)

ASK管理No.F90032

在庫確認・お問合せ

機械仕様最大加速電圧:1.0kV 最大減速圧力:1.0kV
最大イオン電流密度:1.0mA/cm2
イオンミリング本体重量:860kg イオン源電源重量:200kg
イオンビーム密度:max1.0mA/cm3
入力電源:三相AC200V 50/60Hz 制御盤重量:250kg

添付ファイル