イオンミリング装置

メーカー日立

型式IMR-3-1

年式1992

外寸

展示場都留テクニカルセンター

価格3,630,000円(税込)

ASK管理No.F90032

機械仕様最大加速電圧 1.0kV 最大減速電圧 10.kV 最大イオン電流密度 1.0mA/cm2 イオンミリング本体重量 860kg イオン源電源重量 200kg 制御盤重量 250kg

添付ファイル

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