CVD装置(絶縁膜形成装置)
メーカーユーテック
型式VC-2332
年式2001
外寸W2000 D1500 H2000
展示場塩山テクニカルセンター
価格入札会出品中
ASK管理No.FA0288
機械仕様テーブルサイズ:φ220
アノードカップリング
基板サイズ:φ3インチウエハ3枚／バッチ
※改造すればφ6インチ可 使用ガス:O2/N2/Ar/CF4
入力電源:三相AC200V 50A
3分割品 1/3(本体 外寸 W820 D890 H1990)
2/3(コントローラ 外寸 W570 D820 H1890)
3/3(ポンプユニット メカニカルブースターポンプ エドワーズ EH250、 ロータリーポンプ アルカテル 2033C 搭載)
添付ファイル 動作チェックシート
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