半導体(前工程) 成膜・めっき 赤外線ランプアニール 赤外線ランプ加熱装置 メーカーアルバック 型式RTA-3030 年式 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格1,903,000円(税込) ASK管理No.FB0098 在庫確認・お問合せ 機械仕様3φ 200V 150A プレッシャーコントローラー ドライポンプ TC付ガラス基板付属 本体:W950 D1050 H1800 コントローラー:W570 D880 H1340 ドライポンプ:W380 D880 H425 設定温度:Max 400℃ 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します