ウエハロボット搬送ユニット

メーカーYDK

型式triton-EFEM

年式

展示場塩山テクニカルセンター

価格3,025,000円(税込)

お問合番号FB0272

機械仕様ウエハサイズ:200mm W1855×D1155×H2290mm ロボット:JEL製4軸円筒座標型クリーンロボット
※こちらは装置ではありません。エンドステーション部分だけとなります。ご注意ください。

添付ファイル

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