洗浄装置(枚葉式基板) NG
メーカー芝浦メカトロニクス
型式SC300-S
年式2010
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格4,807,000円(税込)
ASK管理No.G10033
機械仕様1/7(スピン処理モジュール 外寸:W760 D730 H2300)
2/7(供給ユニット 外寸:W800 D730 H1960)
3/7(ユーティリティBOX 外寸:W1080 D480 H1395)
4/7(洗浄装置制御盤 外寸:W560 D780 H2095)
5/7(タンク 外寸:W1000 D1000 H1550)
6/7(中和装置制御盤 外寸:W600 D250 H1600)
7/7(付属品及び取扱説明書)
添付ファイル 動作チェックシート
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