ロードロック式スパッタ装置

メーカーパナソニックプロダクションエンジニアリング

型式

年式2015

外寸W800D1120H1555

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK No.G20201

機械仕様ターゲットサイズ:φ300、ターゲット数:1
仕様ターゲット:Cr 、基板サイズ:6インチ
装置サイズ:W800×D1120×H1555
【管理番号:G20201】パナソニック
仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Ar 2015年4月製
ロードロックの付いたコンパクトなスパッタ装置です。

添付ファイル

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