ロードロック式スパッタ装置
メーカーパナソニックプロダクションエンジニアリング
型式
年式2015
外寸W800D1120H1555
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK No.G20201
機械仕様ターゲットサイズ:φ300、ターゲット数:1
仕様ターゲット:Cr 、基板サイズ:6インチ
装置サイズ:W800×D1120×H1555
【管理番号:G20201】パナソニック
仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Ar 2015年4月製
ロードロックの付いたコンパクトなスパッタ装置です。
添付ファイル
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