メーカー パナソニックプロダクションエンジリアリング

型式－

年式2015

外寸本体W800 D1120 H1555

展示場九州テクニカルセンター

価格6,325,000円(税込)

ASK管理No.G20202

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機械仕様ターゲットサイズ:φ300mm ターゲット数:1
仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Ar 2015年4月製
基板サイズ:8インチ 、基板取付可能枚数:1
スパッタ用電源:DC電源5kW
入力電源:三相AC200V 75A
装置サイズ(本体部)W800D1120H1555

添付ファイル 動作チェックシート