メーカー パナソニックプロダクションエンジリアリング

型式

年式2015

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格6,325,000円(税込)

ASK管理No.G20202

在庫確認・お問合せ

機械仕様【管理番号:G20202】 パナソニック
ターゲットサイズ:φ300mm 、ターゲット数:1
基板サイズ:8インチ 、基板取付可能枚数:1
スパッタ用電源:DC電源5kw
装置サイズ(本体部)W800D1120H1555

仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Ar 2015年4月製

添付ファイル 動作チェックシート