メーカーパナソニックプロダクションエンジリアリング

型式

年式2009

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格5,566,000円(税込)

ASK管理No.G20203

在庫確認・お問合せ

機械仕様ターゲットサイズ:φ300mm 、ターゲット数:1
基板サイズ:8インチ、 基板取付可能枚数:1
スパッタ用電源:DC電源10kw
装置サイズ(本体部)W800D1120H1555

仕様ターゲット:Cr プロセスガス:Ar

添付ファイル 動作チェックシート