露光装置
メーカーオーク製作所
型式EXF-2005-B-00
年式2006
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.G40694
機械仕様1/5(本体 EXF-2005-B-00 入力 三相 200V 50A 50Hz 出力 3kw 質量 約600kg 外寸 W1100 D1685 H2010 S/N 44376 年式2006) 2/5(ダクト 外寸 Φ225(内径 Φ200) L1800) 3/5(ダクトファン 三菱電機 JF-150T? 電源 200V 50/60Hz 定格静圧 125/185Pa 風量 1500/1500m3/h 消費電力 137/210W S/N 0610 年式2006) 4/5(ロータリーポンプ 三津海製作所 MSV-140-3FOR 到達圧力 -0.096MPa 常用圧力 -0.080MPa 排気速度 100/120L/M モーター出力 0.25kw 電源 三相 200V 50/60Hz S/N 06-01019) 5/5(デシケーター 外寸 W300 D400 H520)
添付ファイル
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