イオンミリング装置
メーカー日立
型式IMRL-5-1
年式1993
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格4,950,000円(税込)
ASK管理No.GB0190
機械仕様AC200V 最大加速電圧1.0KV
最大イオン電流密度1.0mA/?
マイクロ波最大電流300W
マイクロ波最大周波数2.45GHz
・本体(1/6) W1650 D1740 H2200
・チラー(2/6) タイテック社 CH-41-AF W520 D560 H790
・データレコーダー(3/6) 横河 DX2048-1-4-1 W290 D250 H315
・ロータリーポンプA(4/6) アルカテル W280 D750 H850 ・ロータリーポンプB(5/6) アルカテル W280 D780 H980
・処理室制御BOX(6/6) W780 D530 H860
他真空系配管付属
添付ファイル
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