CVD装置 プラズマPlasma CVD
メーカーアネルバ
型式L-301P
年式1999
外寸
展示場都留テクニカルセンター
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ASK管理No.GC0127
機械仕様1/5(本体 L-301P 電力 三相 200V 50A 50/60Hz 水量本体 0.3MPa 6L/min 空圧 0.6MPa 質量 0.7t 外寸 W1330 D1290 H1820 S/N.EVP-34021) 2/5(バルブボックス 外寸 W1085 D690 H1630) 3/5(ターボ分子ポンプ 大阪真空 TC440 フランジ外径 Φ235mm 重量 約60kg S/N.S440-695) 4/5(ロータリーポンプ アルカテル 2033 C2 排気速度 450/533L/min 到達圧力 3×10?1Pa モーター出力 1.5kw 油量 3.6L S/N.349357) 5/5(オイルフィルターユニット アネルバ CLN-101M 入力 100V 0.8A 単相 50/60Hz 外寸 W340 D440 H425 S/N.R90113)
添付ファイル
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