CVD装置
メーカーアネルバ
型式L-301P
年式1999
外寸
展示場都留テクニカルセンター
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ASK管理No.GC0127
機械仕様1/5本体 L-301P S/N.EVP-34021 2/5バルブボックス
3/5ターボ分子ポンプ 大阪真空 TC440 S/N.S440-695
4/5ロータリーポンプ アルカテル 2033 C2 S/N.349357
5/5オイルフィルターユニット アネルバ CLN-101M S/N.R90113 入力電源:三相AC200V 50/60Hz 50A 5分割
添付ファイル
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