メーカー東朋テクノロジー

型式ME-11265

年式2012

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格2,200,000円(税込)

ASK管理No.GC1300

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機械仕様外形寸法:W5800 D1450 H2100
入力:3φ200V 60Hz 30KVA
300mm角基板成膜前洗浄用にて使用
プロセス:ローダ→UV→バッファ→ロールブラシ洗浄→シャワー洗浄→ファイナルリンス→エアーナイフ→アンローダ

添付ファイル 動作チェックシート