パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカー京三 型式RFK100ZD-TG3 年式2011 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格1,903,000円(税込) ASK管理No.H60463 在庫確認・お問合せ 機械仕様入力AC3φ 200/220V 50/60Hz 44A 出力10kW 13.56MHz 重量70㎏ W480 D800 H350 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します