ドライエッチング装置
メーカー東京応化工業
型式TCE-3822
年式2011
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.H60706
機械仕様シリアルT-1109735
電源:3相200V 125A 60Hz 1/2:エッチング装置本体 Φ125ウエハー対応 石英チャンバー2個 2/2:制御ラック KYOSANマッチングコントローラー(MAK5) 1KWRF電源 漏水検知器(WR-NA)
ポンプ付属無し W1000 D1850 H2030、電源 W600 D1000 H1200
※Aカセット搬送カバー無し
※基板修理後OK(動作正常)
添付ファイル
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