スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式L-430S-FHL
年式1999
外寸W2630D950H1850
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.H80246
機械仕様ターゲットサイズ:φ4インチ、ターゲット数:3
基板サイズ:150mm、
スパッタ用電源:RF/DC電源、
基板加熱性能:最高温度300℃
装置サイズ:W2630D950H1850
三相 200V 100A 50/60Hz
水量本体 0.25MPa6.0?/min
ターゲット 0.25MPa3.0?/min 空圧 0.5~0.8MPa
質量 1.2t 外寸 W2440 D1100 H1600 ・
コントローラーボックス 外寸 W590 D1010 H1850 電源ボックス② 外寸 W560 D700 H1780
クライオコンプレッサー CR420 三相 200V 50/60Hz 2.4/2.5? シリアル 2299022B ・
ロータリーポンプ アルカテル 2033 SD シリアル348451・
添付ファイル 動作チェックシート
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