スパッタ装置(CtoC) 枚葉式
メーカーアネルバ
型式C-7960FL
年式1998
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.HB1176
機械仕様ターゲットサイズ:φ318×4t 、ターゲット数:4
基板サイズ:6インチ 、基板取付可能枚数:7
スパッタ用電源:RF電源5kw
本装置は枚葉式自動コーティング装置です。
真空性能1.スパッタチャンバー 到達圧力 8x10??Pa以下
2.トランスファーチャンバー 到達圧力 9.9x10??Pa以下
3.ロードロックチャンバー 到達圧力 9.9x10??Pa以下
添付ファイル
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