スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPF-730H
年式1991
外寸2500 2500 2200
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.HB1181
機械仕様ターゲットサイズ:8インチ、 ターゲット数:3
基板サイズ:6インチ(仕様書記載サイズ)
スパッタ用電源:RF電源1.5kw
基板加熱性能:最高300℃
本体外寸:W1500D1350H1950
EVP-21715
電力 200V 3相 60A 周波数50/60Hz 空圧6-8kgf/cm2 流量 本体 2kgf/cm2 5?/min ターゲット2kgf/cm2 4?/min 重量1.1t
スパッタダウン
添付ファイル
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