スパッタ装置(バッチ式)
メーカーアネルバ
型式SPF-730H
年式1991
外寸2500 2500 2200
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.HB1182
機械仕様ターゲットサイズ:8インチ 、ターゲット数:3
基板サイズ:6インチ(仕様書記載サイズ)
スパッタ用電源:RF電源1.5kw
基板加熱性能:最高300℃
本体外寸:W1500D1350H1950
EVP-21716
スパッタダウン、ターゲット2kgf/cm2 4?/min、
重量1.1t電力 200V 3相 60A 周波数50/60Hz
空圧6-8kgf/cm2 流量 本体 2kgf/cm2 5?/min
サブストレート取付部サイズ:Φ500
添付ファイル
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します