スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式C-7500L
年式1997
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.HB1191
機械仕様ターゲットサイズ:Φ6インチ、ターゲット数:2
基板サイズ:Φ6インチ、基板取付可能枚数:3
スパッタ用電源:RF電源 、基板加熱機能:なし
本機(実測)約W1860D1650H2000
電力200V 3相 60A 50/60Hz 水量 本体25kgf/cm2 5?/min カソード2kgf/cm2 10?/min 空圧 5~8kgf/cm2 重量1.8t
バーチカル
EVP-31169
添付ファイル
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