プラズマリアクター

メーカーヤマトマテリアル

型式PiPi

年式2016

外寸W438 D520 H565

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK管理No.HC0326

機械仕様プラズマ方式:RIE 発振周波数:13.56MHz
出力:50~200W
チャンバ寸法:W230 D230 H100
外形寸法:W438 D520 H565
入力:AC100V 50/60Hz 15A

添付ファイル

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