メーカーヤマトマテリアル

型式PiPi

年式2016

外寸W438 D520 H565

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.HC0328

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機械仕様プラズマ方式:RIE 発振周波数:13.56MHz
ステージ寸法W130 D130mm
チャンバ寸法:W230 D230 H100
出力:50~200W入力:AC100V 50/60Hz 15A
外寸:W438 D520 H565
反応ガス(アルゴン1系統)

添付ファイル 動作チェックシート