ドライエッチング装置

メーカーアネルバ

型式L-201D-L

年式1998

外寸20002000x1900

展示場都留テクニカルセンター

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ASK管理No.I20137

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機械仕様2チャンバー構造(エッチング室+ロードロック室)
処理枚数Φ3”基板1枚/バッチ 枚葉搬送
エッチング速度300A/min以上 材料SiO2

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