半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 露光装置 露光装置 メーカーミカサ 型式M-2L 年式1999 外寸W800 D600 H900 展示場塩山テクニカルセンター 価格入札会出品中 ASK管理No.I70043 在庫確認・お問合せ 機械仕様ステージ寸法:80×80mm マスクフォルダー:58×58 32×32mm UVランプ:ウシオ USH-500D Hg 500W UV(OE6JA2) ブロワー(GB0598)付属 入力電源:単相AC100V 装置本体W800 D800 H900mm 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します