露光装置

メーカーミカサ

型式M-2L

年式1999

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,650,000円(税込)

ASK管理No.I70043

機械仕様ステージ寸法 80×80
マスクフォルダー 58×58 32×32
装置本体W800 D800 H900
UVランプウシオ USH-500D Hg 500W
UV(OE6JA2),ブロワー(GB0598)付属

添付ファイル 動作チェックシート

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