露光装置

メーカーミカサ

型式M-2L

年式1999

外寸W800 D600 H900

展示場塩山テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.I70043

機械仕様ステージ寸法:80×80mm
マスクフォルダー:58×58 32×32mm
UVランプ:ウシオ USH-500D Hg 500W
UV(OE6JA2) ブロワー(GB0598)付属
入力電源:単相AC100V
装置本体W800 D800 H900mm

添付ファイル 動作チェックシート

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