静電チャック　NG

メーカー筑波精工

型式HPTS-1M18-V4.1

年式2012

外寸W200 D200 H100

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK管理No.I70331

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機械仕様プレート寸法:120x130
吸着力（1kV印加時）90gf/平方cm（導体）45gf/平方cm（絶縁体）

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