メーカー東京応化工業

型式TCE-3822

年式2011

外寸

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.I70527

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機械仕様Φ125ウエハー対応 石英チャンバー2個
1/2:エッチング装置本体
2/2:制御ラック KYOSANマッチングコントローラー(MAK5) 1KWRF電源 漏水検知器(WR-NA)
電源:3相200V 125A 60Hz
※追記 : ドライポンプ別売、セラミックハンド付属

添付ファイル 動作チェックシート