メーカー東京応化工業

型式TCE-3822

年式2011

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格お問合せください

ASK管理No.I70528

在庫確認・お問合せ

機械仕様シリアルT-1109732
電源:3相200V 125A 60Hz
1/2:エッチング装置本体 Φ125ウエハー対応 石英チャンバー2個
2/2:制御ラック KYOSANマッチングコントローラー(MAK5) 1KWRF電源 漏水検知器(WR-NA)
ドライポンプ別販売
※PC基板NG(修理か交換が必要)

添付ファイル 動作チェックシート