ドライエッチング装置
メーカー東京応化工業
型式TCE-3822
年式2011
外寸
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.I70528
機械仕様シリアルT-1109732
電源:3相200V 125A 60Hz
1/2:エッチング装置本体 Φ125ウエハー対応 石英チャンバー2個
2/2:制御ラック KYOSANマッチングコントローラー(MAK5) 1KWRF電源 漏水検知器(WR-NA)
ドライポンプ別販売
※追記 : セラミックハンド付属とRF電源NG(要修理)
PC基板NG(要修理)。
添付ファイル 動作チェックシート
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