アッシング装置
メーカー国際電気セミコンダクターサービス
型式RAM-6500R
年式2011
外寸
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.I70574
機械仕様電源:3相200V 15kVA 50Hz/60Hz
1/3:アッシング装置本体 W600xD1300xH1790 ウエハーサイズ5インチ(4インチに変更可能) チャンバ数1 処理枚数50枚/バッチ RF電源1kW 13.56MHzオートチューニング
2/3:コントロール コンソール W570xD700xH1400
3/3:EBARA EV-N100S W280xD600xH580排気速度10000L/min 到達圧力0.5Pa
石英チューブ1本欠品中
添付ファイル 動作チェックシート
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