メーカー昭和真空

型式SPE-2010

年式2001

外寸W1000 D1100 H1600

展示場九州テクニカルセンター

価格3,795,000円(税込)

ASK管理No.I70641

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機械仕様４分割　1/4:エッチング装置 SPE-2010
2/4:チラー:NESLAB M75
3/4:ロータリーポンプ:ALCATEL2012A/2033 C2 2台
4/4RF電源 T857-2 MAX 500W 13.56MHz
入力電源:三相AC200V 50/60Hz 12kVA 重量:1000kg

添付ファイル 動作チェックシート