ドライエッチング装置
メーカー昭和真空
型式SPE-2010
年式2001
外寸W1000D1100H1600
展示場九州テクニカルセンター
価格3,300,000円(税込)
ASK管理No.I70641
機械仕様1/4エッチング装置(SPE-2010):電源3相200V 50/60Hz 12KVA 圧空0.5MPa 20l/min N2ガス0.3MPa/min 3インチ対応 到達圧力2.7×10?3Pa 排気時間3.0×10?2Paまで2分以内 エッチング深さ60nm
外寸W1000D1100H1600 重量1000Kg
2/4チラー:NESLAB M75 3/4ロータリーポンプ:ALCATEL2012A/2033 C2 2台 4/4RF電源(T857-2) MAX500W 13.56MHz
添付ファイル 動作チェックシート
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