スパッタ装置
メーカー昭和真空
型式SPH-2207-RF
年式2008
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.I70643
機械仕様ターゲットサイズ:126mm×178mm×6t
ターゲット数:1 、 基板サイズ:φ3インチ
基板取付可能枚数:4枚×10
スパッタ用電源:RF電源
基盤加熱温度:MAX150℃
本機外寸:W2500D1100H1850
【管理番号:I70643】SPH-2207-RF 昭和真空
電源3相200V 50/60Hz 23.8KVA
到達圧力:仕込/取出室1.0×10?3Pa以下 スパッタ室1.0×10?3Pa以下 スパッタ材Ag 、
スパッタ時搬送速度100~1000mm/min
外寸:本機W2500D1100H1850
電源ラックW640D800H1850 、ターゲット寸法126mm×178mm×6t 、基盤加熱温度MAX150℃
添付ファイル
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