半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 蒸着装置 (EB) メーカーアルバック 型式EX-550-C12 年式2000 外寸W1520D877H1762 展示場九州テクニカルセンター 価格商談中 ASK No.I70650 在庫確認・お問合せ 機械仕様電源:3相200V 60Hz 19.5KVA 56.3A 圧力上昇5.0E-6Pa・m3/s 回転特性5~12r/min 最高加熱温度350℃ 外寸 本体W1520D877H1762 重量1000Kg 操作盤W560D839H1842 電源W560D700H1200 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します