蒸着装置（EB)
メーカー昭和真空
型式SEC-16CMCⅢ
年式-
外寸
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.I70652
機械仕様電力:本体3相200V 22KVA EB電源3相200V 26KVA 到達圧力 5.0×-7Torr台 排気時間 3.0×10-5Torr迄10分以内 基板加熱 MAX300℃ 常用200℃ チャンバーΦ750×900H 外寸 本体:W1960D1270H1830 1300Kg 操作盤:W565D1020H1900 EB電源:W660D1050H1200 440Kg
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