スパッタ装置

メーカーアルバック

型式SME-200

年式2003

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格商談中

ASK No.I70654

機械仕様【管理番号:I70654】SEM-200 アルバック
ターゲットサイズ:φ300mm×5t、
ターゲット数:1
基板サイズ:8インチ、基板取付可能枚数:1
スパッタ用電源:RF電源3kw
最高基板温度:800℃
外寸本機:W1040D2640H2129

電源:3相200V 50/60Hz 35KVA 到達圧力:カセット室6.7×10??Pa スパッタ室1.0×10??Pa 加熱温度:最高基板温度800℃ 操作圧力:スパッタ室0.4~10Pa 外寸:本機W1040d2640H2129 1800Kg ラックW580D1049H1992 700Kg チラーW450D650H1265 140Kg トランスW400D600H500 100Kg

添付ファイル

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