スパッタ装置
メーカーアネルバ
型式SPC-540H
年式1983
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.I70656
機械仕様ターゲットサイズ:長方形 約110mm×365mm ターゲット数:3 、 基板サイズ:φ3インチ 基板取付可能枚数:4枚×12面
スパッタ用電源:RF電源 【管理番号:I70656】SPC-540H アネルバ
基板加熱性能:加熱性能有り(最高温度不明)
EVP-14288
電源:3相200V 75A 60Hz
RF電源③:予備品(欠品有り)
クライオポンプCAP-121 水量本体2Kgf/cm25l/min
カソード3Kgf/cm215l/min 空圧5Kgf/cm2
クライオコンプレッサー:CRC-420MkⅡ
外寸W1800D1200H2200 質量1.2t
制御盤W600D1050H1850 RF電源:PRF-503
外寸W570D700H1400
添付ファイル
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