スパッタ装置 NG
メーカーアネルバ
型式SPC-540H
年式1992
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.I70657
機械仕様ターゲットサイズ:長方形 約125mm×380mm ターゲット数:4
基板サイズ:四角 約75mm×75mm
基板取付可能枚数:3枚×19面
スパッタ用電源:RF電源
基板加熱性能:ヒーター有(最高温度不明)
【管理番号:I70657】SPC-540H アネルバ
EVP-22674
電源:3相200V 75A 60Hz
クライオコンプレッサー:CRC-874 ヘリウムガス圧0表示ガス抜け有
クライオコンプレッサー:CRC-874 ヘリウムガス圧0表示ガス抜け有
クライオポンプCAP-121 水量本体2Kgf/cm25l/min カソード2Kgf/cm225l/min 空圧5Kgf/cm2
外寸W1700D1300H2300 質量1.2t
制御盤W600D1000H1850 RF電源:PRF-503×2個
PRF-504×2個 外寸W570D700H1300
添付ファイル
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