メーカーアネルバ

型式L-332S-FH

年式1998

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.I80030

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機械仕様【管理番号:I80030】L-332S-FH アネルバ
ターゲット数:3inc×3、基板サイズ:2インチ
スパッタ用電源:DC電源&RF電源
装置サイズ:W1800×D1050×H1800

スパッタ電源:PRF-065B/MDX-500W
入力:3φ200V 50/60Hz
EVP-32189

添付ファイル 動作チェックシート