半導体(前工程) 成膜・めっき 蒸着装置 蒸着装置(小型) メーカー東京真空 型式EG-240 年式1992 外寸1200 600 1200 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.I80033 在庫確認・お問合せ 機械仕様ペルジャー寸法:φ240xH220 抵抗加熱蒸発ボート 2式 (電源切り替え式) 蒸着サイズ □80 入力:3φ200V 50Hz 試料加熱ヒーター:装着済 試料加熱用温調及び電源:装着済 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します