アライメント装置

メーカーアユミ工業

型式AL-60M

年式2005

外寸W970 D720 H1372

展示場塩山テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.IC0069

機械仕様ウェーハサイズ:4インチ
位置合せ精度:±5μm以下
入力電源:単相AC100V 1.5KVA 50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート

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