陽極真空接合装置

メーカーアユミ工業

型式AB-40A-S

年式2007

展示場塩山テクニカルセンター

価格2,200,000円(税込)

お問合番号IC0070

機械仕様ウエハサイズ:4インチ(切り替えで6インチも可)
加熱Max500℃ 処理時間:20分/サイクル
入力:3φ200V 3.5KVA

添付ファイル

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