半導体(前工程) 半導体・製造装置 イオン注入・インプラ 液晶注入装置 メーカー長野オートメーション 型式 年式 外寸 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.IC0868 在庫確認・お問合せ 機械仕様チャンバー内寸:W260 D260 H140 真空ポンプ無し 入力:AC100V 対応基板サイズ Φ200mmサイズ 丸基板 115mm×125mmサイズ 角基板 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します