メーカーVM

型式VMF4×

年式

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格880,000円(税込)

ASK管理No.J30225

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機械仕様3~6インチウェーハ対応(手動可)
プローブ用のアーム移動量
X軸10mm Y軸10mm Z軸30~80mm
バキューム機能有 ポンプ付属無し
実体顕微鏡 オリンパス UIS2
接眼レンズ 10× 対物レンズ 4×
電源 オリンパス TL 100V 50/60Hz
外寸 W400 D350 H500
遮光ボックス サンワ 外寸 W600 D530 H650
半導体後工程設備

添付ファイル 動作チェックシート