CVD装置 シリコン酸化膜
メーカーサムコ
型式PD-200STP
年式2010
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格9,900,000円(税込)
ASK管理No.J70540
機械仕様TEOS CVD
電源:3相200V 50A 電源:単相200V 40A 周波数50Hz 動作確認60Hzにて実施 本体W1370 D1800 H2000 1000Kg メカニカルブースターポンプ W430 D704 H880 150Kg ロータリーポンプ D170 W519 H253 30Kg オイルフィルトレーション W250 D250 H460 20Kg 除害キャビネットW600 D600 H1500 50Kg TEOS用ソースタンク 2L適用基板サイズ最大Φ6インチウエハー1枚処理
添付ファイル 動作チェックシート
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