メーカーサムコ

型式PD-200STP

年式2010

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.J70540

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機械仕様TEOS CVD
適用基板サイズ:最大φ6インチウェーハ1枚処理
メカニカルブースターポンプ /ロータリーポンプ
オイルフィルトレーション /除害キャビネット
入力電源:三相AC200V 50A/単相AC200V 40A　

添付ファイル 動作チェックシート