メーカーサムコ

型式PD-200STP

年式2010

外寸－

展示場九州テクニカルセンター

価格入札会出品中

ASK管理No.J70540

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機械仕様TEOS CVD
適用基板サイズ:最大φ6インチウェーハ1枚処理
RF電源:500W
使用ガス:TEOS N2 O2 Ar C2F6
入力電源:三相AC200V 50Hz 50A/単相AC200V 50Hz 40A
メカニカルブースターポンプ /ロータリーポンプ
オイルフィルトレーション /除害キャビネット　

添付ファイル 動作チェックシート