メーカーSEMI TOOL

型式SRD-470S

年式－

外寸W430 D600 H1435

展示場九州テクニカルセンター

価格1,265,000円(税込)

ASK管理No.JC0292

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機械仕様ウェーハ:φ4インチ用
入力電源:単相AC100V 50/60Hz
重量:60kg
付属PSC-101 コントローラー

添付ファイル 動作チェックシート