縦型アニール炉(真空)
メーカーディーエスアイ
型式MA-200V
年式2010年4月
外寸
展示場九州テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.JC0374
機械仕様電源 (電気炉用)3相200V50/60Hz 18kVA (制御用)単相100V 50/60Hz 2kVA 供給ガス H2,N2,HP-GAS 最高使用温度 600℃ 常用使用温度 300℃~500℃ 基板サイズ 6インチウエハーまたは相当の基板 処理量 16枚(ダミー含み25枚) 外寸(本体)W1750,D1300,H2150 (電源BOX)W710,D420,H900 (ドライポンプ)W300,D750,H900 ※PLC Pass不明データ抜き取り出来ない (予備石英部品)チューブ、ステージ、ボート、熱電対保護管 本体重量 約1000kg
添付ファイル
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