縦型アニール炉(真空)
メーカーディーエスアイ
型式MA-200V
年式2010年4月
外寸(本体)W1750,D1300,H2150
展示場九州テクニカルセンター
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ASK管理No.JC0374
機械仕様電源 (電気炉用)3相200V50/60Hz 18kVA
(制御用)単相100V 50/60Hz 2kVA
供給ガス H2,N2,HP-GAS
最高使用温度 600℃
常用使用温度 300℃~500℃
基板サイズ 6インチウエハーまたは相当の基板
処理量 16枚(ダミー含み25枚)
(電源BOX)W710,D420,H900
(ドライポンプ)W300,D750,H900
※PLC Pass不明データ抜き取り出来ない
(予備石英部品)チューブ、ステージ、ボート、熱電対保護管
添付ファイル 動作チェックシート
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