半導体(前工程) 成膜・めっき スパッタ装置 イオンスパッタ装置 メーカー日立製作所 型式E-1030 年式 外寸 展示場九州テクニカルセンター 価格売却済 ASK No.K10362 在庫確認・お問合せ 機械仕様単相 100V 50/60Hz 15A 試料 最大Φ55mm 最大高 20mm 試料台 約φ60 W450 D360 H380 質量 約56kg ロータリーポンプ アルバック GLD-135C 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します