イオンスパッタ装置

メーカー日立製作所

型式E-1030

年式

外寸

展示場九州テクニカルセンター

価格売却済

ASK No.K10362

機械仕様単相 100V 50/60Hz 15A 試料 最大Φ55mm
最大高 20mm
試料台 約φ60 W450 D360 H380 質量 約56kg
ロータリーポンプ アルバック GLD-135C

添付ファイル 動作チェックシート

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